摘要：硬薄膜軟基底結(jié)構(gòu)在壓應(yīng)力作用下通常會發(fā)生一種褶皺形式的屈曲失穩(wěn),這種結(jié)構(gòu)在微納機(jī)電系統(tǒng)、柔性電子器件等領(lǐng)域有非常廣泛的應(yīng)用。壓電材料因其獨特的力電耦合特性具有普通材料不可替代的作用,受到軟基底-硬薄膜-軟基底3層結(jié)構(gòu)能進(jìn)一步提高其彎曲性能的啟發(fā),從理論上分析了關(guān)于壓電薄膜3層結(jié)構(gòu)在壓應(yīng)力作用下的屈曲問題,結(jié)合線性擾動分析和能量法獲得了3層結(jié)構(gòu)壓電薄膜屈曲的臨界應(yīng)變、波數(shù)、波長和幅值的解析表達(dá)式,并且與彈性薄膜3層結(jié)構(gòu)進(jìn)行了對比分析,發(fā)現(xiàn)壓電薄膜比彈性薄膜有更強(qiáng)的抵抗屈曲變形能力。