摘要：快速動態(tài)真空校準(zhǔn)裝置由校準(zhǔn)系統(tǒng)、高速數(shù)據(jù)采集與控制系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)5個部分組成。采用快開超高真空插板閥與不同幾何尺寸限流元件的組合實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)壓力建立時間在18.12~658.13 ms范圍的調(diào)整,采用容積比為1 573.9的下游室與上游室實(shí)現(xiàn)動態(tài)真空1 000倍以上的階躍。通過ms量級稀薄氣體快速膨脹過程數(shù)值仿真獲得了快開閥與限流元件不同流態(tài)下隨時間的流導(dǎo)函數(shù),并采用動態(tài)響應(yīng)特性經(jīng)過優(yōu)化的電容薄膜真空計(響應(yīng)時間1.07 ms)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,快速動態(tài)真空校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)范圍10^-1~10^5Pa,合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為14%。