摘要：為提高嵌入式時(shí)柵角位移傳感器測量精度,從傳感信號形成機(jī)理出發(fā),對短周期誤差成因進(jìn)行了詳細(xì)分析。通過對繞組等效分析和激勵信號分析,確定了短周期誤差的主要特性為一次和二次誤差,一次誤差來源為零點(diǎn)殘余誤差和直流分量誤差,二次誤差來源為激勵信號正交誤差。針對短周期誤差補(bǔ)償,提出了基于超限學(xué)習(xí)機(jī)的誤差補(bǔ)償方法,通過對測量值與真實(shí)值樣本的訓(xùn)練得到模型最優(yōu)參數(shù),根據(jù)模型參數(shù)建立短周期誤差模型,利用所得誤差模型實(shí)現(xiàn)對短周期誤差的補(bǔ)償。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,短周期誤差分析結(jié)果與傳感器實(shí)際誤差特性一致,采用該補(bǔ)償方法傳感器短周期誤差大幅度降低,降低了約96%。對比和重復(fù)性實(shí)驗(yàn)表明,該方法與諧波補(bǔ)償法相比精度提高了約1倍,誤差補(bǔ)償效果更優(yōu),同時(shí)方法具有良好的測量穩(wěn)定性,對提高嵌入式時(shí)柵角位移傳感器的測量精度具有重要的理論和現(xiàn)實(shí)意義。