摘要：本文對壓電驅動微泵的工作特性進行了系統(tǒng)測試,利用高壓方波信號源產生頻率和電壓可調的信號來驅動微泵,采用高精度電子秤測量固定時間(10s)內微泵輸送液體的質量大小;并對工作特性進行相關分析,總結了壓電微泵的輸送流量隨液體黏度、驅動電壓和驅動頻率之間的關系。結果表明,在相同的驅動條件下,液體黏度越大,壓電微泵輸送的流量越小;在固定的驅動電壓下,當驅動頻率為泵膜的諧振頻率時壓電微泵輸送的流量最大,高于或低于驅動頻率時輸送的流量越來越小;在固定的驅動頻率下(諧振頻率),壓電微泵輸送的流量隨驅動電壓的升高而增加。研究結果為壓電微泵的優(yōu)化設計和實際應用提供了依據(jù)。