摘要：以溶膠-凝膠法制備Al摻雜的ZnO(AZO)薄膜。為了提高薄膜的結(jié)晶性,在氬氣氣氛中將所制備的薄膜分別在400℃、500℃和550℃溫度下退火處理,研究不同退火溫度對(duì)薄膜樣品形貌和性能的影響。結(jié)果表明,所制備的AZO薄膜為六角纖鋅礦結(jié)構(gòu),有很明顯的c軸擇優(yōu)取向;隨著退火溫度增加,薄膜的結(jié)晶性與電導(dǎo)率均先增加后減小,其在可見(jiàn)光區(qū)域的平均透過(guò)率約為85%。當(dāng)退火溫度為500℃時(shí),制備的AZO薄膜性能最佳,其品質(zhì)因素可以達(dá)到2051.04Ω^-1·cm^-1。