摘要：太赫茲(Terahertz,THz)波位于光子學(xué)向電子學(xué)的過渡區(qū)域,在高速寬帶通信、雷達(dá)、成像等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用前景。但目前用于THz波動(dòng)態(tài)調(diào)控的器件仍比較缺乏,這在一定程度上限制了THz技術(shù)的發(fā)展。VO2具有獨(dú)特的金屬—絕緣體相變特性,相變過程可以應(yīng)用于動(dòng)態(tài)調(diào)控THz波傳輸。探索超材料與VO2結(jié)合以制備高效、動(dòng)態(tài)、靈活的太赫茲功能器件也是近來的研究熱點(diǎn)。簡(jiǎn)述了VO2的相變特性,并分析了微觀結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分等因素對(duì)相變特性的影響;系統(tǒng)回顧了VO2薄膜相變過程中的THz波調(diào)控性能研究進(jìn)展,總結(jié)了VO2與超材料不同結(jié)合方式在THz波動(dòng)態(tài)調(diào)控方面的應(yīng)用;并對(duì)基于VO2相變特性的THz波調(diào)控功能器件發(fā)展前景與挑戰(zhàn)進(jìn)行了展望。