摘要：為提高本征石墨烯的氣敏特性,將錫和氧化錫薄膜蒸鍍?cè)跉庀喑练e法制備的石墨烯表面,制成石墨烯基SnOx-Sn氣體傳感器,通過原子力顯微鏡(AFM)、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FESEM)對(duì)其表面結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征。并測(cè)試了其在室溫下對(duì)低體積分?jǐn)?shù)甲醛和二氧化氮(NO2)氣體的響應(yīng)特性。研究并分析了膜蒸發(fā)速率、基底加熱時(shí)間、氧氣流量對(duì)傳感器響應(yīng)靈敏度的影響。